プラズマ高周波電源 - NR3N
製品の特長
600W～3kWの出力をカバーしながらほぼ同じサイズを実現。限られた設置場所でも同じサイズを採用することにより、必要電力に応じた製品を選ぶことが可能です。出力1kWまでは空冷で運用出来ます。
定格出力：3kW
周波数：13.56MHz
基本仕様
| 型式 | NR3N | NR3NP |
|---|---|---|
| 定格出力 | 3kW | |
| 出力周波数 | 13.56MHz±0.05% | |
| 出力インピーダンス | 50～52Ω | |
| 電源 | 3φ 200V±10% | |
| スプリアス | -40dB 以下 | |
| 冷却方式 | 水冷 | |
| 外形寸法 | W215×D480×H146 | |
